凝结水泵厂家1)凝结泵空气门 如果运行备用的两台凝结泵空气门最终是共用一根空气管接到凝汽器去的,如果备用泵漏空气,可能会影响到运行泵的正常运行。(共用一根空气管,运行泵的空气可能不会被抽走,泵体聚集空气,致泵运行异常)
2)凝结泵容易汽化汽蚀的原因 a、凝结水温度(可以忽略过冷却度)是凝汽器排汽压力下的饱和温度,即使加上热井水位产生的静压力(这就是为什么凝结泵要装在较低位置的原因),凝结水泵入口的压力还是很低,如果水泵流量小,水在泵体中会被加热,而达到凝结水的汽化温度,使泵产生汽蚀。 b、凝结水系统是负压的,凝结水泵的法兰、等处容易漏入空气,如果空气门没开或漏入的空气量太大,会使水泵积存空气而不能正常工作。
3)凝结泵装在泵坑的原因 凝结水温度(可以忽略过冷却度)是凝汽器排汽压力下的饱和温度,即使加上热井水位产生的静压力,凝结水泵入口的压力还是很低,如果水泵流量小,水在泵体中会被加热,而达到凝结水的汽化温度,使泵产生汽蚀。
凝结水泵由于低温冷凝泵具有无油,对所有气体的抽速都较大,特别是对水蒸汽、H2等抽速很大,适应性强,制冷机低速运行,且运动部件很少,有利于长期可靠运行等优点,因而,被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。
现以CTITorr28冷凝泵为例,简要阐述冷凝泵的内部构造特点、工作原理以及维护保养方面的要点。目前,冷凝泵中所使用的冷冻机有以下三种形式。
①G2M循环冷冻机:最早被用于冷凝泵中的小型极低温冷冻机,它是根据Gifford和Mcmahon而发明研制,具有很高可靠性、极低温度的冷冻机。如今也使用的很广泛。
②ModifiedSolvay循环冷冻机:严格地说,在热力学上与G2M循环不一样,但在实际上也可以看作是用在气压驱动机构上的G2M循环冷冻机。
③Sterling循环冷冻机:是容压缩和膨胀为一体的冷冻机,在冷凝泵中一般作为大型机种来使用,但目前基本上不使用。